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利用冷喷涂技术制备了NiCoCrAlY涂层,并对涂层进行了真空预氧化处理。结合X射线衍射、扫描电镜、能谱分析等方法研究了预氧化处理前后的NiCoCrAlY涂层在1100℃的循环氧化行为。结果表明：冷喷涂NiCoCrAlY涂层孔隙率小于0.92%;真空预氧化处理使涂层由γ固溶体单相结构转变为和γ固溶体和β-（Ni,Co）Al金属间化合物双相结构。真空预氧化处理在涂层表面生成厚约0.47μm连续、致密的α-Al2O3氧化膜;真空预氧化减慢了涂层表面TGO的生长速度,延长了TGO厚度到达脱落临界厚度的时间,从而