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本文介绍了射频 (RF)感应耦合等离子体 (ICP)离子源的设计研究。对RFICP的结构、离子流的引出以及离子流的均匀性、中性化和射频匹配网络进行了研究。
射频ICP离子源设计研究
【摘 要】
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本文介绍了射频 (RF)感应耦合等离子体 (ICP)离子源的设计研究。对RFICP的结构、离子流的引出以及离子流的均匀性、中性化和射频匹配网络进行了研究。
【机 构】
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中国科学院等离子体物理研究所
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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2002年04期
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