基于三梁结构的电热驱动谐振式微加速度传感器研究

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hanson1023

【摘要】

：

为了提高电热激励/压阻拾振谐振式微加速度传感器的品质因数和消除交叉灵敏度,提出一种基于三梁结构的新设计.依据有限元模拟得到的固有振型来选择三梁结构参数,以减少能量耗

【作者】

：

陈健陈德勇王军波

【机构】

：

中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

2007年3期

【关键词】

：

微机械电子系统电热驱动谐振式微加速度传感器三梁结构交叉灵敏度有限元模拟 MEMS thermally driven resonant microacc

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为了提高电热激励/压阻拾振谐振式微加速度传感器的品质因数和消除交叉灵敏度,提出一种基于三梁结构的新设计.依据有限元模拟得到的固有振型来选择三梁结构参数,以减少能量耗散,提高品质因数.分析本设计消除交叉灵敏度的机制和独特的三梁结构的激振方式并对其进行有限元模拟.模拟结果证实这种谐振式微加速度传感器的灵敏度高于1000 Hz/g.

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