论文部分内容阅读
为了解决软光亥4技术中核心元件弹性印章的制备技术，对SU-8胶印模和聚合物弹性印章进行了工艺研究．通过多次实验和测量，获得了制作SU-8胶印模和聚合物弹性印章的稳定工艺参数，得到了表面形貌好、线条控制精确的SU-8胶印模和聚合物弹性印章样品，弹性印章特征线条尺寸在长宽高方向上为70mm×50μm×42μm，完全可满足软光刻技术要求，这为软刻蚀技术的进一步开发打下了良好的基础．