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在高速钢表面沉积TiN涂层,运用SEM、XRD和XPS方法研究了TiN涂层表面氧化物特征,并从热力学和晶体学上探讨了氧化物形成机理。结果表明,TiN表面氧化物为TiO_2,厚度约为60nm,它由吸附的氧通过TiN略作畸变而形成。
TiN涂层表面氧化层研究
【摘 要】
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在高速钢表面沉积TiN涂层,运用SEM、XRD和XPS方法研究了TiN涂层表面氧化物特征,并从热力学和晶体学上探讨了氧化物形成机理。结果表明,TiN表面氧化物为TiO_2,厚度约为60nm,它
【机 构】
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中国兵器工业第五二研究所宁波分所科研部,哈尔滨工业大学宁波市315040
【出 处】
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兵器材料科学与工程
【发表日期】
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1992年7期
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