射频放电阻抗测量用于等离子体诊断研究

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【摘要】

：

利用自行研制的传感器和测量装置 ,通过对射频放电电压、电流以及其相位角的精确测定 ,算出放电管的总阻抗 ,结合放电管的等效电路模型与Godyak等建立的射频放电模型 ,对射频

【作者】

：

黄建军余建华 D.Teuner

【机构】

：

深圳大学理学院实验中心; 深圳大学光电子系; 德国鲁尔大学电子工程与信息技术系深圳518060; 深圳518060; 波鸿D-44780; 德国;

【出处】

：

物理学报

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

射频放电阻抗测量等离子体诊断

【基金项目】

：

广东省自然科学基金 (批准号 :980 92 2 )资助的课题~~

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利用自行研制的传感器和测量装置 ,通过对射频放电电压、电流以及其相位角的精确测定 ,算出放电管的总阻抗 ,结合放电管的等效电路模型与Godyak等建立的射频放电模型 ,对射频激励铜离子激光管在氦气中的放电特性进行了研究 ,得出射频激励铜离子激光器不同气压及电流密度下的等离子体电阻、容抗、鞘层厚度及电子密度

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