用光子显微镜无损检查晶片

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日立制作所研制成“扫描光子显微镜”,其原理是:当光照射半导体晶片时,在有结晶缺陷、污染、损伤的部分所产生的表面光电压比正常部存的要低,利用这一现象在晶片上进行光斑扫描,以非接触方式读出各点产生的光电压变化,经数据处理后用与电压值相对应的浓淡图像显示。
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