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期刊论文
二氧化硅上的铝金属化层失效模式分析
二氧化硅上的铝金属化层失效模式分析
来源 :电子元器件应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kashemir
【摘 要】
:
主要从SiO2的质量、铝金属化质量、电应力和热应力等诸多因素出发分析SiO2,表面上铝金属化层的失效模式。
【作 者】
:
吴生虎
【机 构】
:
航天工业总公司半导体器件失效分析中心
【出 处】
:
电子元器件应用
【发表日期】
:
2003年4期
【关键词】
:
二氧化硅
金属化
失效模式
SIO2
铝金属
集成电路
SiO_2MetallizationFailure modes
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主要从SiO2的质量、铝金属化质量、电应力和热应力等诸多因素出发分析SiO2,表面上铝金属化层的失效模式。
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