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用氩离子束镀膜法制备BaTiO3/Si系统,并在400-900℃的温度下用氮气保护进行退火,然后制成Al/BaTiO3/Si的MIS结构。用俄歇电子能谱分析BaTiO3膜的化学组分.研究电容-相对湿度和电流-相对湿度特性,以及固定电荷密度对湿敏特性的影响.结果表明,当相对湿度从12%变化到92%时,电容量增加48%到50%;在3V偏压下,电流量增加420%到440%;随着固定电荷密度的减小,吸附响应时间增加,电流变化率减小.