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为了控制光刻胶全息光栅显影过程,建立了槽形演化和衍射效率模型,模拟了槽形演化和衍射效率曲线,分析了显影监测曲线的特征和规律.并将模拟槽形和实验槽形、模拟监测曲线和实验监测曲线进行对比,均很好地吻合.结果表明衍射效率的监测对把握显影过程停显时刻、控制掩摸槽形非常有效.
光刻胶全息光栅显影监测的模拟与实验
【摘 要】
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为了控制光刻胶全息光栅显影过程,建立了槽形演化和衍射效率模型,模拟了槽形演化和衍射效率曲线,分析了显影监测曲线的特征和规律.并将模拟槽形和实验槽形、模拟监测曲线和实
【机 构】
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南京信息职业技术学院,微电子工程系,南京,210046苏州大学,信息光学工程研究所,苏州,215006;
【出 处】
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光学技术
【发表日期】
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2009年1期
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