退火温度对不连续多层膜磁性及微结构的影响

来源 :河北建筑工程学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：a9s5c112j6b

【摘要】

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通过射频和直流磁控溅射方法和原位退火工艺将Fe颗粒嵌入绝缘SiO2母体中制备了系列不连续金属绝缘体多层膜样品．研究发现，热处理温度对薄膜中的磁性颗粒分布和磁性能有很大的影

【作者】

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贾利云许佳玲曲蛟侯登录

【机构】

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河北建筑工程学院数理系,河北师范大学信息与物理科学学院

【出处】

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河北建筑工程学院学报

【发表日期】

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2007年4期

【关键词】

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不连续多层膜磁性微结构 discontinuous multilayers magnetic properties microstructure

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通过射频和直流磁控溅射方法和原位退火工艺将Fe颗粒嵌入绝缘SiO2母体中制备了系列不连续金属绝缘体多层膜样品．研究发现，热处理温度对薄膜中的磁性颗粒分布和磁性能有很大的影响．通过扫描探针显微镜对样品的微结构进行了分析，发现在400℃时形成典型的不连续多层膜结构，磁性颗粒比较均匀的分散在母体当中．样品的磁性能测量结果显示该样品具有较好的磁性能．

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