不同调制周期的Al/MoO3半导体桥发火器件电爆性能研究

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【摘要】

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采用磁控溅射技术制备总厚度为6μm,调制周期分别为134nm/166nm和22nm/28nm的Al/MoO3复合薄膜,并将其与半导体桥(SCB)整合形成含能半导体桥(ESCB)发火器件,研究了Al/MoO3含能

【作者】

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党鹏阳倪德彬于国强王培勇徐栋陈立魁

【机构】

：

陕西应用物理化学研究所

【出处】

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火工品

【发表日期】

：

2019年6期

【关键词】

：

Al/MoO3复合薄膜调制周期活化能发火感度 Modulation periodAl/MoO3 filmsActivation energyFiring

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采用磁控溅射技术制备总厚度为6μm,调制周期分别为134nm/166nm和22nm/28nm的Al/MoO3复合薄膜,并将其与半导体桥(SCB)整合形成含能半导体桥(ESCB)发火器件,研究了Al/MoO3含能薄膜及SCB-Al/MoO3含能半导体桥的性能。DSC分析表明,调制周期为22nm/28nm的薄膜只有1个放热峰,其活化能为245k J/mol;调制周期为134nm/166nm的薄膜有3个放热峰,最大放热峰的活化能为200k J/mol。22nm/28nm的含能薄膜燃速为5.34m/s;134nm

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