【摘 要】
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氧化锌(ZnO)是一种原料易得、价廉、毒性小的光电薄膜材料,具有巨大的开发潜力,但ZnO薄膜一般是采用异质外延的方式获得,晶体质量有待提高。采用激光脉冲沉积(PLD)方法,在镀
【机 构】
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湖北理工学院数理学院,湖北理工学院量子材料研究所
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氧化锌(ZnO)是一种原料易得、价廉、毒性小的光电薄膜材料,具有巨大的开发潜力,但ZnO薄膜一般是采用异质外延的方式获得,晶体质量有待提高。采用激光脉冲沉积(PLD)方法,在镀镍(Ni)蓝宝石衬底上生长高质量ZnO薄膜。由于镀镍工艺成熟,能够起缓冲作用,缓解ZnO外延层和蓝宝石衬底之间的晶格失配,从而能获得较高质量的ZnO薄膜。通过不同条件下生长的样品对比测试及表征,结果表明,在Ni/Al2O3上生长极性面ZnO薄膜比直接在蓝宝石上生长ZnO薄膜晶体质量更好;同时发现PLD的生长温度对ZnO薄膜有较大影响
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