超晶格半导体材料及其应用(3)

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三、应变超晶格材料以前研究超晶格材料时,除了AlGaAs/GaAs系以外,对其他物质结合而形成超晶格的研究工作不很积极,原因是它们之间的晶格常数不同,会引起薄膜之间产生失配位错而得不到良好质量的晶体。但是,如果多层薄膜的厚度十分薄时,在晶体生长时反而不怎么产生缺陷,也就是在弹性形变限度之内的超薄膜中,晶格本身发生应变而消除缺陷的产生。巧妙地利用这种性质,目前开始研究晶格常数不同材料形成的应变超晶格的制备。在应变超晶格中发现了一般超晶格中没有的新特性。这讲将对应变超晶格的设计理论和研究动向进行介绍。 STRAINED SUPERLATTICE MATERIALS In the past, when studying superlattice materials, the research on superlattices formed by combining other materials except AlGaAs / GaAs was not very positive due to the different lattice constants between them Resulting in mismatched dislocations between the films without obtaining good quality crystals. However, if the thickness of the multilayered film is very thin, the defects rarely occur during crystal growth. That is, in the ultra-thin film within the elastic deformation limit, the lattice itself is strained to eliminate defects. Clever use of this nature, is now beginning to study the preparation of strained superlattices of different lattice constants. In strain superlattices, new properties not found in general superlattices have been found. This talk will introduce the design theory and research trends of strained superlattice.
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