高可靠性16×16 SOI热光开关阵列

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhouqiuhe1

【摘要】

：

在分析加热器对热光开关阵列可靠性影响的基础上,提出了一种新的热光开关阵列控制和驱动电路.分析表明,在假设加热器失效率为5%的情况下,新控制和驱动电路可以使16×16 S

【作者】

：

李运涛余金中李智勇陈少武

【机构】

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中国科学院半导体研究所

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2007年z1期

【关键词】

：

热光开关阵列控制和驱动电路可靠性

【基金项目】

：

国家自然科学基金(批准号:60336010,60577044),国家重点基础研究发展规划(批准号:G2000-03-66,2006CB302803)和国家高技术研究发展计划(批准号:2002AA312060)资助项目

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在分析加热器对热光开关阵列可靠性影响的基础上,提出了一种新的热光开关阵列控制和驱动电路.分析表明,在假设加热器失效率为5%的情况下,新控制和驱动电路可以使16×16 SOI热光开关阵列的可靠性从34.99%提高到92.30%.同时,采用引入控制信号预处理模式,使封装后的热光开关阵列控制端口数从34个减少到10个.在采用新的控制和驱动电路基础上,研制出高可靠性的16X16 SOI热光开关阵列.

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