【摘 要】
：
垂直腔面发射激光器(VCSEL)以其低功耗、低阈值电流、高调制速率和易制作二维阵列器件等特点,广泛应用于短距离光互连领域。湿法腐蚀和干法刻蚀作为高速VCSEL台面结构制备的
【机 构】
：
北京邮电大学电子工程学院; 北京工业大学信息学部;
【基金项目】
：
国家自然科学基金项目(61335004);国家“863”计划项目(2015AA017101)
论文部分内容阅读
垂直腔面发射激光器(VCSEL)以其低功耗、低阈值电流、高调制速率和易制作二维阵列器件等特点,广泛应用于短距离光互连领域。湿法腐蚀和干法刻蚀作为高速VCSEL台面结构制备的两种工艺,影响VCSEL氧化层的大小。文章研究了氧化层面积对寄生电容的影响,并计算得到7μm氧化孔径下采用干法刻蚀工艺的垂直腔面发射激光器,相比较湿法腐蚀工艺,氧化层电容由902.23fF减小至581.32fF,谐振腔电容由320.72fF减小至206.65fF。通过对采用湿法腐蚀和干法刻蚀工艺制备的GaAs量子阱结构高速VCSEL进行小信号调制响应测试,结果表明,7μm氧化孔径下干法刻蚀VCSEL小信号调制带宽提高至16.1GHz。
其他文献
本文以情感化的设计理念为导向,分析了老年群体情感需求的多样性,提出了老年产品的设计原则。
从自身普通化学精品资源共享课建设的实践体会论述了建设精品资源共享课应该注意的一些问题，如增加知识点连串设计、视频情感化设计，利用录像方式进行最优化选择或组合，以及充分
从针刺汽车地毯高温力学性能和传热性能的实验研究入手，分析了材料种类、变形速率、变形方向和成形温度对地毯力学性能的影响特性，包括断裂强度、断裂延伸率、各向异性以及与温
从2013年到2015年对四川九顶山自然保护区的兽类资源进行了调查,结合历史文献,确认保护区共有兽类82种,分属7目27科。区系分析表明：保护区的兽类东洋界种类有62种,古北界14种,
冷硫化衬胶工艺正越来越广泛地应用于各类工矿设备防腐耐磨衬里方面。本文以磁选机槽体内部衬胶为例，对冷硫化衬胶工艺的几大主要工艺环节进行了分析和研究。
诗人田炳信有一首《世纪印象》,以谐谑之笔勾勒出一幅走进新世纪的中国形象:新世纪扎着白羊肚手巾／穿着红色的高跟皮鞋／左手抱着土地抚养大的西瓜／右手挟着机床生下的月饼／录音机
《四部正讹》是我国第一部辨伪专著,在辨伪学史上具有里程碑的作用。书中,其对伪书价值有多种认识,尤其是对伪书史料价值的认识更是深刻与多方面的。然历来学者对此却少有论
为提高鲜食玉米剥皮加工的生产效率,设计了一种摩擦式鲜食玉米剥皮机。介绍了玉米剥皮机的结构和工作原理,通过对玉米果穗剥皮过程的动力学分析,完成了主要工作部件的设计和
使用气相色谱／质谱（GC—MS）法对缬草精油和含有缬草精油的混配精油的化学成分进行了分析。采用直观推导式演进特征投影法（HELP）对二维数据中的色谱重叠峰进行了解析，得到两种精油的
矩阵体积是矩阵行列式绝对值的推广,也是向量长度的推广。通过从初等变换角度来探讨矩阵体积与初等变换的关系。