【摘 要】
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用四极质谱仪分析锆铝吸气剂泵在激活和再激活期间的气体释放特性,以及吸氢和吸甲烷期的分压强变化。这有助于我们对过程中发生的现象作吸气机理的探讨。
The quadrupole ma
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用四极质谱仪分析锆铝吸气剂泵在激活和再激活期间的气体释放特性,以及吸氢和吸甲烷期的分压强变化。这有助于我们对过程中发生的现象作吸气机理的探讨。
The quadrupole mass spectrometer was used to analyze the gas release characteristics during the activation and reactivation of the aluminum-zirconium-aluminum getter pump, as well as the change in the partial pressures of hydrogen absorption and methane uptake. This helps us to investigate the phenomenon of aspiration in the process.
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