新型三维位移场测试理论及系统研究

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研究建立了可同时进行三维位移场测试的新型光测力学实验系统.平面位移测试基于云纹干涉方法,但采用与普通云纹干涉不同的光路系统,利用试件光栅和平面反射镜组形成的两次衍射,使平面位移干涉条纹倍增,测量灵敏度是普通云纹干涉的2倍.采用泰曼/格林干涉光路测量离面位移.整个系统具有构造新颖、便于调节、位移场条纹对比度高等特点.用波前干涉理论,建立了位移条纹方程式,与由多普勒频移原理建立的位移条纹方程式取得了一致的表达结果.通过微电子器件三维热变形的测量,对系统进行了验证.
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