【摘 要】
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本文针对X射线曝光用细线条掩模制作工艺中的细线条(指抗蚀剂线条)粘附、细线条制作和用溅射法去除电镀导电层等几个技术难题进行了分析。并介绍了一些措施和手段,为解决上述
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本文针对X射线曝光用细线条掩模制作工艺中的细线条(指抗蚀剂线条)粘附、细线条制作和用溅射法去除电镀导电层等几个技术难题进行了分析。并介绍了一些措施和手段,为解决上述几个问题进行了探索,制作了X射线曝光用的实验掩模。
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