LiFePO4/C多层膜的制备及电化学性能研究

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目的研究LiFePO4/C多层膜在不同的调制周期下的电化学性能。方法采用多靶磁控溅射方法,在304不锈钢基底上,先沉积10nmTi薄膜作为阻挡层,然后交替沉积LiFePO4薄膜和C薄膜,制备三组不同调制周期的[LiFePO4/C]n多层膜。通过扫描电子显微镜(SEM)及其附带的EDS能谱仪对退火前和经500℃退火2h后的不同调制周期[LiFePO4/C]n多层膜的截面形貌、成分进行表征,利用X射线衍射仪(XRD)对退火前和经500℃退火2h后的LiFePO4薄膜及不同调制周期[LiFePO4/C]n多层膜
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