【摘 要】
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通过数学理论建模与UG建模，建立了蓝宝石衬底基片双面研磨的运动模型并获得了在三种传动比情况下行星齿轮上不同点的轨迹。通过分析研磨轨迹和研磨速度可知在传动比为l时行星
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通过数学理论建模与UG建模，建立了蓝宝石衬底基片双面研磨的运动模型并获得了在三种传动比情况下行星齿轮上不同点的轨迹。通过分析研磨轨迹和研磨速度可知在传动比为l时行星齿轮各点的轨迹为均匀分布的圆形且速度相等，所有点的运动周期相等而且比其它情况下的周期短，有利于提高研磨效率和形状精度，结果成功地解决了由于行星齿轮内的衬底基片各点处速度不一样而导致的平面度差的问题和行星齿轮中心不能放置蓝宝石衬底基片的问题。
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