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为精确控制振动进给运动，研制了多参数可调的电解加工振动进给装置系统。通过对工具阴极振动进给方式对电解加工间隙内电解产物排出、电解液流场稳定性影响的分析，以剃须刀网罩上的微尺度阵列群缝的电解加工为研究对象开展了系列工艺试验，研究了振动进给的运动参数对微尺度群缝的平均缝宽、侧壁锥度的影响，据此优选了工艺参数，并成功批量加工出了缝宽为0．26mm、侧壁锥度小于5％的微尺度阵列群缝。试验结果证明，振动进给能够有效提高微尺度群缝的电解加工精度和加工过程稳定性。