【摘 要】
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文章建立了直接测定半导体三级甲醇多元素含量的方法。以膜去溶作为进样系统,四级杆电感耦合等离子体质谱仪(ICPMS)作为分析仪器,采用热焰模式分析。首先测定CMOSIII甲醇,然
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文章建立了直接测定半导体三级甲醇多元素含量的方法。以膜去溶作为进样系统,四级杆电感耦合等离子体质谱仪(ICPMS)作为分析仪器,采用热焰模式分析。首先测定CMOSIII甲醇,然后测定以Be,Co,In,Bi作为加标的CMOSIII甲醇,加标样品测定加标回收率,同时测定Na,Mg,K,Ca,Fe的检出限。实验结果证明该方法具有进样速度快、精密度高等优点。热焰模式提高了碳的燃烧度,溶液中离子电离效率得到提升,降低了锥孔碳的积累,仪器信号漂移变缓,提高了准确度。膜去溶与ICP-MS联用是快速分析半导体三级甲醇中
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