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洁净室的洁净度是保证工艺生产设备正常生产的主要环境因素之一。本文针对微电子工业厂房主要分析了洁净室洁净度影响因素，并提出对应的监测方法以及改进措施。
探讨洁净室的洁净度影响因素与改进措施
【摘 要】
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洁净室的洁净度是保证工艺生产设备正常生产的主要环境因素之一。本文针对微电子工业厂房主要分析了洁净室洁净度影响因素，并提出对应的监测方法以及改进措施。
【机 构】
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中国电子系统工程第二建设有限公司
【出 处】
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城市建设理论研究（电子版）
【发表日期】
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2004年期
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