【摘 要】
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介绍了电子枪的分类与特点,重点介绍了热场发射电子枪的原理、结构、特点及在电子束光刻机中的应用.阐述了电子束光刻机束流与电子枪提取极电流之间关系,并分析了热场发射电子枪各个参数对提取极电流的影响.研究了热场发射电子枪的调校对电子束光刻工艺的影响,并通过实验得出束斑与束流的关系.最后通过调整电子枪参数,制备了不同的光刻图形,满足了不同的光刻工艺要求,验证了分析的结论.
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄050051
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介绍了电子枪的分类与特点,重点介绍了热场发射电子枪的原理、结构、特点及在电子束光刻机中的应用.阐述了电子束光刻机束流与电子枪提取极电流之间关系,并分析了热场发射电子枪各个参数对提取极电流的影响.研究了热场发射电子枪的调校对电子束光刻工艺的影响,并通过实验得出束斑与束流的关系.最后通过调整电子枪参数,制备了不同的光刻图形,满足了不同的光刻工艺要求,验证了分析的结论.
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