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为解决磁流变抛光中的定位关键问题,提高磁流变抛光的工件装夹效率与定位精度,结合迭代最近点(ICP)算法,提出适用于方形平面工件的三面测点位姿精确定位方法。通过仿真计算,验证了该方法的定位误差小于0.5μm,具有理论可行性;通过位姿求解及定位误差验证实验,验证了该方法在实际工况下的Z向定位误差小于10μm,具有实际应用可行性。