切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
CoSi2/n—Si肖特基势垒的形成和特性
CoSi2/n—Si肖特基势垒的形成和特性
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:evaxiang
【摘 要】
:
本文利用XRD、RBS、AES和四探针等方法研究了不同温度快速热退火后的Co/Si结构薄膜固相反应形成钻硅化物的相序、组份和电学特性。并报道了性能优越的CoSi2/n-Si肖特基二极管
【作 者】
:
张利春
高玉芝
等
【机 构】
:
北京大学微电子学研究所
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1993年1期
【关键词】
:
肖特基势垒
二极管
形成
特性
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文利用XRD、RBS、AES和四探针等方法研究了不同温度快速热退火后的Co/Si结构薄膜固相反应形成钻硅化物的相序、组份和电学特性。并报道了性能优越的CoSi2/n-Si肖特基二极管的特性,其势垒高度为0.66eV,理想因子为1.01。
其他文献
基于校企协同创新的土木工程应用型人才培养模式研究
应用型人才培养问题已经成为地方本科院校急需解决的关键问题。为此,本文从课程教学、考核与评价、校企长效和深度合作模式、应用型人才培养师资队伍建设等方面详细阐述了应
期刊
土木工程
校企协同创新
应用型人才
培养模式
低阈值InGaAsP/InPPBH双稳激光器
一种平面掩埋异质结构(PBH)InGaAsP/InP双区共腔双稳激光器业已研制成功.器件具有良好可控的光学双稳特性.激射波长1.3μm.直流L/I特性显示典型的迴滞曲线.导通阈电流的最低值
期刊
双稳
激光器
INGAASP/INP
中学语文教师要注重自身的性情修养
当代中学语文教学,除要求教师具备扎实的专业知识外,更要注重自身的性情修养。自身性情修养的高低在一定程度上决定了学生能否“亲其师,信其道”。当今中学语文教学研究证明,非智
期刊
中学语文教师
修养
性情
中学语文教学
语文教学研究
非智力因素
专业知识
“身教”
基于Web的电子技术教学系统的设计与实现
介绍了基于Web的B/S模式及所采用的中间件技术,给出了网上电子技术教学系统的总体设计方案.针对电子技术课程中大量的电子电路图,提出将图片文件的URL保存在数据库中然后动态
期刊
B/S
ASP
图片
电子技术
教学
B/SASPpictureelectronictechniqueteaching
用计算机通信技术改革计算机通信技术课程教学
探索了采用计算机通信技术(主要是Internet技术)进行专业主干课“计算机通信技术”课程本身的教学改革,以使教师和学生分别可应用BBS、讨论组、电子邮件等手段来进行答疑、讨论
期刊
网络教学
计算机通信
教学改革
INTERNET
高等教育
network teaching computer communication teaching r
新疆白杨河铀铍矿床微量元素地球化学特征
本文通过对铀铍矿床微量元素的地球化学特征的探讨,对矿床的成矿作用进行了研究,结果显示,白杨河铀铍矿化主要受控于断裂构造,该断裂系统提供了良好的导矿、运矿、容矿构造条
期刊
铀铍矿
成矿作用
微量元素
地球化学特征
地质构造
小学生学会倾听的价值取向和有效培养
《小学语文新课程标准》明确指出,"要让学生学会倾听"。学会倾听是理解、掌握知识和学会欣赏他人的基本要求和前提条件之一。可是在我们的课堂上,很多学生并不会倾听。学生缺乏
期刊
小学生
学会
课堂生成
培养
价值
新课程标准
小学语文
组织教学
符号仿真在电路教学中的应用
介绍了符号运算语言的特点,并利用MATLAB的符号运算功能编写一MATLAB程序"Circuit.m",通过节点列表法,实现了任意线性电路的自动解析求解,为电路分析及电路教学提供了一个有
期刊
符号运算
MATLAB
电路教学
电路分析
symbolic operationcircuit simulationteaching
浅谈现代企业制度中经济管理机制
浅谈现代企业制度中经济管理机制第一汽车集团公司综合利用厂金起奉党的十四届三中全会“决定”中明确指出,转换国有企业经营机制,建立现代企业制度是发展社会化大生产和市场经
期刊
企业经济
现代企业制度
经营管理机制
自动化专业“计算机控制系统”课程的改革与实践
详细地分析和研究了自动化专业计算机控制系统课程的教学内容和课程体系,对本课程进行的教学改革与实践已取得了良好的研究成果,该成果对其它课程的教学内容和体系的改革具有参
期刊
计算机控制系统
教学内容
课程改革
自动化专业
computer control system teaching contentcourse systemcou
与本文相关的学术论文