论文部分内容阅读
本文利用XRD、RBS、AES和四探针等方法研究了不同温度快速热退火后的Co/Si结构薄膜固相反应形成钻硅化物的相序、组份和电学特性。并报道了性能优越的CoSi2/n-Si肖特基二极管的特性，其势垒高度为0．66eV,理想因子为1．01。
CoSi2／n—Si肖特基势垒的形成和特性
【摘 要】
：
本文利用XRD、RBS、AES和四探针等方法研究了不同温度快速热退火后的Co/Si结构薄膜固相反应形成钻硅化物的相序、组份和电学特性。并报道了性能优越的CoSi2/n-Si肖特基二极管
【机 构】
：
北京大学微电子学研究所
【出 处】
：
半导体学报
【发表日期】
：
1993年1期
其他文献
应用型人才培养问题已经成为地方本科院校急需解决的关键问题。为此,本文从课程教学、考核与评价、校企长效和深度合作模式、应用型人才培养师资队伍建设等方面详细阐述了应
一种平面掩埋异质结构（PBH）InGaAsP/InP双区共腔双稳激光器业已研制成功.器件具有良好可控的光学双稳特性.激射波长1.3μm.直流L/I特性显示典型的迴滞曲线.导通阈电流的最低值
当代中学语文教学，除要求教师具备扎实的专业知识外，更要注重自身的性情修养。自身性情修养的高低在一定程度上决定了学生能否“亲其师，信其道”。当今中学语文教学研究证明，非智
介绍了基于Web的B/S模式及所采用的中间件技术,给出了网上电子技术教学系统的总体设计方案.针对电子技术课程中大量的电子电路图,提出将图片文件的URL保存在数据库中然后动态
探索了采用计算机通信技术（主要是Internet技术）进行专业主干课“计算机通信技术”课程本身的教学改革，以使教师和学生分别可应用BBS、讨论组、电子邮件等手段来进行答疑、讨论
本文通过对铀铍矿床微量元素的地球化学特征的探讨，对矿床的成矿作用进行了研究，结果显示，白杨河铀铍矿化主要受控于断裂构造，该断裂系统提供了良好的导矿、运矿、容矿构造条
《小学语文新课程标准》明确指出,＂要让学生学会倾听＂。学会倾听是理解、掌握知识和学会欣赏他人的基本要求和前提条件之一。可是在我们的课堂上,很多学生并不会倾听。学生缺乏
介绍了符号运算语言的特点,并利用MATLAB的符号运算功能编写一MATLAB程序"Circuit.m",通过节点列表法,实现了任意线性电路的自动解析求解,为电路分析及电路教学提供了一个有
浅谈现代企业制度中经济管理机制第一汽车集团公司综合利用厂金起奉党的十四届三中全会“决定”中明确指出，转换国有企业经营机制，建立现代企业制度是发展社会化大生产和市场经
详细地分析和研究了自动化专业计算机控制系统课程的教学内容和课程体系，对本课程进行的教学改革与实践已取得了良好的研究成果，该成果对其它课程的教学内容和体系的改革具有参