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考虑到在原子力显微镜扫描成像过程中，由于探针针尖形貌和样品表面的卷积作用，使得样品形貌在扫描图像中的形状“展宽”，严重影响了原子力成像的质量，进行了重构探针形貌，然后使用反卷积的方法降低扫描图像中探针展宽效应的研究。分析了目前常用的探针建模方法——盲建模算法，该方法不需要已知表面形貌的样品薄膜（如多孔铝薄膜）来标定探针形貌，但会使降噪参数对探针建模结果产生很大影响，并且标定薄膜的表面也容易被污染，这样就降低了该方法的使用效率。针对这些问题，提出基于数学形态学的建模方法，即通过在平整的表面上沉积规则球型纳米