无源及有源光电芯片on—wafer测试

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1技术概述从上世纪80年代以来,光电子器件获得了高速发展。以光纤为介质的光通信技术逐渐成为远距离传输/高速互联接口的主要形式。不过光纤只是光通信中的传输“通道”,而光信号的发射、调制、
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