【摘 要】
：
设计了一种采用锆钛酸铅（PZT）／K,电薄膜悬臂梁作为驱动机理的500μm×500μm微镜结构。该微镜主要由4个悬臂梁与1个反射镜组成，4个悬臂梁起支撑微镜的作用，即微镜主要利用微悬
【机 构】
：
西安电子科技大学微电子所宽禁带半导体材料与器件教育部重点试验室,西安通信学院军事综合信息网教研室
论文部分内容阅读
设计了一种采用锆钛酸铅（PZT）／K,电薄膜悬臂梁作为驱动机理的500μm×500μm微镜结构。该微镜主要由4个悬臂梁与1个反射镜组成，4个悬臂梁起支撑微镜的作用，即微镜主要利用微悬臂梁自由端头的小挠度来实现垂直方向的位移。提出了与互补金属氧化物半导体（CMOS）工艺相兼容的制作方法，利用有限元软件ANSYS7．0对压电微镜的反射镜平整度、结构机械强度、线性度、响应速度和功耗等性能进行了研究，并与数值计算结果进行了比较，结果表明此微镜达到了快速、高精度、低功耗的设计要求。
其他文献
河北廊坊市下辖的三河市、大厂回族自治县、香河县三地（下称＂北三县＂）划归北京管辖的传言已经流传多年,近期又喧嚣一时。今年3月份＂北三县＂实施全面限贷和积分落户政策,6月份北京市
<正> 播音创作按信息传播方式可以划分为广播电台的广播播音和电视台的电视播音。广播播音和电视播音是同出一辙的语言艺术,都是将文字稿件变为有声语言。但是,作为有声语言
原电池是高中化学的基础内容,是教学大纲和高等学校考试大钢要求的重要知识点,特别是原电池反应和电极反应式的正确书写已成为当前热点考点,这类试题常分为两种类型:(1)已知
研究了等规聚丙烯在户外老化过程中化学重结晶作用和自由体积的变化。化学重结晶作用促使等规聚丙烯结晶度增加，无定形区分数减少。结晶度的增加降低了无定形区分子链的活动能
尽管我国食品工业机械起步较晚,在市场信息、销售渠道、核心技术方面与发达国家存在一定的差距,但是凭借国家的支持与企业的潜心钻研,其整体质量和国际竞争力在不断提升.希恩
随着素质教育的不断推进,小学科学的教学课堂发生了翻天覆地的变化,如何让学生在有限的时间内学得更多的知识,是我们一线教师追求的永恒目标。众所周知,小学科学倍受小学生的
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download to view, this article does not support online access to view profile.
介绍了不同Ti量对中低CE灰铸铁件组织、力学性能和致密性影响的研究方法。试验结果表明：（1）一定量的Ti增加了铁液的过冷倾向,促进了灰铸铁件D型石墨的形成,湿型砂造型的D型石墨
从认识中国传统哲学思维特质及其具有的鲜明特征入手,阐明了悟性思维不仅是中国传统哲学文化的主要思维方式,也是中医思维的主要方法,其具有鲜明悟性特征,是今天中医学者认识
研究性学习作为综合实践活动的核心内容,指在教师指导下,从自然、社会和生活中选择和确定专题进行研究,并在研究过程中主动地获取知识、应用知识、解决问题的学习活动。本文