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制作真空光电转换器件要经过高温烘烤除气的工艺过程,这一过程对微通道板的电学性能会发生变化。本文给出了我们制作的微通道板在烘烤前后进行各项电学性能的测试曲线,并对结果作了定性的分析。
微通道板经烘烤后电学性能的变化
【摘 要】
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制作真空光电转换器件要经过高温烘烤除气的工艺过程,这一过程对微通道板的电学性能会发生变化。本文给出了我们制作的微通道板在烘烤前后进行各项电学性能的测试曲线,并对结
【出 处】
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长春光学精密机械学院学报
【发表日期】
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1985年03期
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