【摘 要】
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标准CMOS工艺中的多晶硅的热性能越来越稳定，因此多晶硅微热板受到一定的限制。本文设计了一种与标准CMOS工艺兼容的钨微热板。钨在CMOS工艺中作为通孔材料连接两层金属或者金
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标准CMOS工艺中的多晶硅的热性能越来越稳定，因此多晶硅微热板受到一定的限制。本文设计了一种与标准CMOS工艺兼容的钨微热板。钨在CMOS工艺中作为通孔材料连接两层金属或者金属与硅衬底。但在钨微热板的设计过程中，钨连接一层金属，构成钨电阻。作为微热板的加热和测温电阻。测量结果显示钨的温度系数是0．0015／℃，钨微热板的热阻是17℃／mw。本文的钨微热板的设计可以应用到相关的与标准CMOS工艺兼容的热传感器的设计之中。
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