硼离子注入硅的剖面分布

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liuhao0760
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本文研究了硼离子注入硅的载流子浓度分布.实验表明,载流子浓度分布可以近似用线性扩散方程的解来描述.因此,通过结深的实验值得到了一套随注入剂量,退火温度和时间变化的扩散系数.用这套扩散系数又可以计算出能量 40-400keV,剂量5×1013-1×1015cm-2,退火温度900℃-1100℃,退火时间15分-2 小时这个范围内的载流子浓度分布.
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