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毫米波主动导引头缝隙天线阵面，具有面积大，缝隙数量多，精度高的特点，制造这样的缝隙天线阵面，在国内尚属首次，本文着重对缝隙天线阵面的光刻工艺进行了分析，对光刻工艺方法研制缝隙天线面的技术途径，工艺实验的结果和存在的主要问题进行了论述。
毫米波缝隙天线阵面光刻工艺
【摘 要】
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毫米波主动导引头缝隙天线阵面，具有面积大，缝隙数量多，精度高的特点，制造这样的缝隙天线阵面，在国内尚属首次，本文着重对缝隙天线阵面的光刻工艺进行了分析，对光刻工艺方法研制缝隙
【机 构】
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北京遥感设备研究所
【出 处】
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航天工艺
【发表日期】
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1998年6期
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