【摘 要】
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对高气压下直流均匀辉光放电的脉冲占空比效应进行了研究.在1.7 kHz脉冲放电条件下,当占空比高于73％时,脉冲间隔后电压需要经过10 ～ 20 μs的上升时间至稳定;而电流增长明显地
【机 构】
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中国科学技术大学物理学院 合肥230026中国科学院等离子体物理研究所 合肥230031;
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对高气压下直流均匀辉光放电的脉冲占空比效应进行了研究.在1.7 kHz脉冲放电条件下,当占空比高于73％时,脉冲间隔后电压需要经过10 ～ 20 μs的上升时间至稳定;而电流增长明显地滞后于电压的上升,整个增长过程需要的时间约是电压上升时间的10倍.减小占空比,表示电流增长快慢程度的时间常数τ几乎线性增加.这是因为小占空比时,上升通道开始时刻的等离子体电子密度低,放电电流需要更长时间才能稳定.在高气压条件下,粒子碰撞效应显著增强,增加的放电功率被更多地被用于加热中性粒子,表现为Hα、Hβ等发射光谱强度随占空比降低而增加.进一步减小占空比,电子密度ne衰减到过低,时间常数τ增加到一定值时,放电就难以维持,表现为放电不稳定乃至熄灭.
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