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采用霍尔离子源沉积类金刚石薄膜是近年来新出现的一种方法,本文研究了自行研制的霍尔离子源的性能以及采用此离子源制备类金刚石薄膜及工艺参数的影响.结果表明,霍尔离子源在较低的电压即可起辉,可提供稳定的能量较低的离子束流.采用霍尔离子源沉积类金刚石薄膜的沉积速率约为0.5 nm/s.随着霍尔离子源灯丝电流的升高,离子源放电电压下降,制备的类金刚石薄膜的硬度下降.放电电流的变化对类金刚石薄膜的硬度影响不大.