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文章主要对高纯度稀土氧化物中微量金属杂质元素的电感耦合等离子体-质谱法(ICP-MS)的检测技术进行了相关研究,其主要内容包含了在对体-质谱法进行使用时发生的问题,并使用体-质谱法对高纯稀土化合物中的痕量杂质进行直接检测,此后,结合体-质谱法(ICP-MS)与分离技术的联合使用来对高纯稀土化合物中的痕量杂质进行测定。