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该文提出了一种提取分层介质中三维静态闭式空域格林函数的通用算法,并成功地运用于三维多层多导体互连结构的电容参数提取。该算法在谱域等效传输线模型的基础上,应用Krylov子空间维数缩减技术求出谱域格林函数的有理逼近表达式,再由留数定理得到闭式空域格林函数。所得闭式空域格林函数结合矩量法可以方便地用于提取三维互连结构的电容参数。数值结果验证了方法的准确性和有效性。