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本文提出在高真空镀膜系统中通过化学气相沉积（CVD）的方法沉积高纯度的先驱B膜,再经过后退火工艺,Mg扩散进入先驱膜而反应生成了MgB2超导薄膜.经过多种实验方法检测,这种薄膜具有较为优异的超导性能,是一种和传统微电子工艺兼容、适宜于工业化大规模生产MgB2超导薄膜的方法.
化学气相沉积-后退火法制备MgB2超导薄膜
【摘 要】
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本文提出在高真空镀膜系统中通过化学气相沉积（CVD）的方法沉积高纯度的先驱B膜,再经过后退火工艺,Mg扩散进入先驱膜而反应生成了MgB2超导薄膜.经过多种实验方法检测,这种薄膜具
【机 构】
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贵州大学通信工程系,贵州大学光电子技术及应用省级重点实验室
【出 处】
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低温物理学报
【发表日期】
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2007年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金（60666001.60471050）,贵州省优秀青年科技人才培养计划（黔科合人字（2002）2013）,贵州省高层次人才基金,省长基金（黔科教办200304）.教育部基金资助的课题.
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