超磁致伸缩TbFe/FeAl多层膜的研究

来源 :材料热处理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：beautyfox110

【摘要】

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采用直流磁控溅射法制备了TbFe/FeAl超磁致伸缩多层膜,研究了FeAl薄膜的复合对TbFe薄膜磁性能以及热处理温度对TbFe/FeAl磁致伸缩多层膜磁致伸缩系数的影响。结果表明,TbFe层

【作者】

：

王伟宓一鸣钱士强周细应

【机构】

：

上海工程技术大学材料工程学院

【出处】

：

材料热处理学报

【发表日期】

：

2008年4期

【关键词】

：

超磁致伸缩薄膜磁控溅射 TbFe/FeAl 交换耦合 giant magnetostrictive films magnetron sputtering Tb

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采用直流磁控溅射法制备了TbFe/FeAl超磁致伸缩多层膜,研究了FeAl薄膜的复合对TbFe薄膜磁性能以及热处理温度对TbFe/FeAl磁致伸缩多层膜磁致伸缩系数的影响。结果表明,TbFe层与FeAl层之间的交换耦合作用以及热处理能明显提高薄膜的软磁性能和磁致伸缩性能;与TbFe单层膜相比,TbFe/FeAl多层膜水平方向的矫顽力从59.2kA·m^-1降低到29.6kA·m^-1;经最佳退火处理（350℃×60min）,获得了较低的饱和磁场强度和矫顽力,分别为Hs=96k

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