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利用脉冲激光沉积技术在Sr Ti O3表面导电层上方制备非晶Hf O2栅介质薄膜,通过磁控溅射技术在非晶Hf O2栅介质薄膜上方制备直径为100μm的圆形Pt电极,研究了变温条件下Pt/Hf O2/Sr Ti O3的漏电流I-V特性,分析了非晶Hf O2栅介质层的漏电机制,如空间电荷限制电流机制、Fowler-Nordheim导电机制、Pool-Frenkel发射机制、肖特基发射机制。研究结果表明在低压段（<0.18 V）为欧姆导电;在高压段（>0.5 V）为Pool-Frenkel发射机制。