热压印刻蚀技术

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纳米压印刻蚀技术是通过压模的方法实现纳米结构批量复制的.这一技术具有高分辨、高效率和低成本的优点.它与现行的光学刻蚀技术流程相似,具有较好的兼容性与继承性.详细介绍了热压印刻蚀技术的核心工艺步骤:压印模板的制备、热压印胶的选择、压模和撤模、反应离子刻蚀以及热压印过程中的聚合物流动机理,探讨了热压印刻蚀技术中的基础科学问题.还分析了纳米压印刻蚀技术的研究现状,展望了纳米压印刻蚀技术的应用前景.
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