【摘 要】
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用直流磁控反应溅射技术,在玻璃表面淀积掺锡氧化铟透明导电薄膜(简称ITO膜),成功地应用到飞机、机车、船舶等电热玻璃上.该技术的研究成功,为我国电热玻璃的更新换代闯出了
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用直流磁控反应溅射技术,在玻璃表面淀积掺锡氧化铟透明导电薄膜(简称ITO膜),成功地应用到飞机、机车、船舶等电热玻璃上.该技术的研究成功,为我国电热玻璃的更新换代闯出了新的途径.本文介绍了ITO薄膜的特性、导电原理及其制备方法,对关键工艺参数进行较详细地讨论.实验结果表明,以ITO膜为导电材料制备的电热玻璃,克服了以往电热玻璃所有缺点.并且,还具有独特的光学性能,既可节省能源,又对驾驶员的身心健康起到了保护作用.
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