【摘 要】
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<正> MEMS(微型机电系统)自八十年代以来就应用于医疗行业,在各种硅压力传感器、加速度传感器和定制的微结构应用中大显身手。MEMS器件与其他技术相比有许多优点,它们尺寸小,
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<正> MEMS(微型机电系统)自八十年代以来就应用于医疗行业,在各种硅压力传感器、加速度传感器和定制的微结构应用中大显身手。MEMS器件与其他技术相比有许多优点,它们尺寸小,性能可靠,价格便宜。硅是很容易用于MEMS器件结构加工的材料,用于生产硅电子元件的大多数硅片加工设备可以用来生产硅传感器件。硅的弹性几乎十分完美,它不会象其他原理的产品那样随时间的推移而发生屈变或形变,这使它很适合十分依赖于传感器输出的医疗应用。这些传感器在半导体工厂里成批进行生产,典型的批量是2500～15000只传感器,具体视传感器结构的尺寸和复杂性而定。
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