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硅芯制备技术及对沉积多晶硅棒杂质的影响
硅芯制备技术及对沉积多晶硅棒杂质的影响
来源 :材料科学与工程学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhushuangwu1999
【摘 要】
:
本文介绍了改良西门子法多晶硅生产中的硅芯制备技术,包括区熔法硅芯制备技术和切割法硅芯制备技术。简要介绍了两种硅芯制备技术的工艺流程,并对两种不同技术路线制备硅芯过
【作 者】
:
史冰川
董俊
李昆
黄磊
亢若谷
邱建备
【机 构】
:
昆明理工大学材料科学与工程学院,昆明冶研新材料股份有限公司,云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室
【出 处】
:
材料科学与工程学报
【发表日期】
:
2016年3期
【关键词】
:
硅芯
杂质分凝
杂质挥发
坩埚污染
silicon filament
impurity segregation
impurity evaporation
【基金项目】
:
云南省科技厅省院省校科技合作专项资助项目(2014IB003)
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本文介绍了改良西门子法多晶硅生产中的硅芯制备技术,包括区熔法硅芯制备技术和切割法硅芯制备技术。简要介绍了两种硅芯制备技术的工艺流程,并对两种不同技术路线制备硅芯过程中的杂质分凝、挥发及坩埚污染进行了比较。根据分析结果,采用区熔硅芯能在一定程度上降低硅芯对硅棒的杂质贡献。
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