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本文介绍了改良西门子法多晶硅生产中的硅芯制备技术,包括区熔法硅芯制备技术和切割法硅芯制备技术。简要介绍了两种硅芯制备技术的工艺流程,并对两种不同技术路线制备硅芯过程中的杂质分凝、挥发及坩埚污染进行了比较。根据分析结果,采用区熔硅芯能在一定程度上降低硅芯对硅棒的杂质贡献。
硅芯制备技术及对沉积多晶硅棒杂质的影响
【摘 要】
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本文介绍了改良西门子法多晶硅生产中的硅芯制备技术,包括区熔法硅芯制备技术和切割法硅芯制备技术。简要介绍了两种硅芯制备技术的工艺流程,并对两种不同技术路线制备硅芯过
【机 构】
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昆明理工大学材料科学与工程学院,昆明冶研新材料股份有限公司,云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室
【出 处】
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材料科学与工程学报
【发表日期】
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2016年3期
【基金项目】
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云南省科技厅省院省校科技合作专项资助项目（2014IB003）
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