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采用玻璃喷砂打孔、阳极键合、玻璃通孔镀膜工艺，成功制备出基于TGV的玻璃封帽结构，并应用于微机电（MEMS）器件加工中。
应用于晶圆级真空封装的玻璃通孔金属化工艺研究
【摘 要】
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采用玻璃喷砂打孔、阳极键合、玻璃通孔镀膜工艺，成功制备出基于TGV的玻璃封帽结构，并应用于微机电（MEMS）器件加工中。
【机 构】
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北京自动化控制设备研究所,空军驻某区军事代表室
【出 处】
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战术导弹控制技术
【发表日期】
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2013年1期
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