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介绍国际标准《洁净室及相关受控环境》中的基本技术术语和技术概念，以利从业者准确理解并熟悉应用粒子、洁净度分级、洁净度检测等基本概念。
粒子与洁净度分级
【摘 要】
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介绍国际标准《洁净室及相关受控环境》中的基本技术术语和技术概念，以利从业者准确理解并熟悉应用粒子、洁净度分级、洁净度检测等基本概念。
【机 构】
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中国电子学会洁净技术分会,世源科技工程有限公司,电子行业特种生产环境技术与装备检测中心
【出 处】
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洁净与空调技术
【发表日期】
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2010年1期
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