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本文从Fresne1-Kirchhoff衍射公式出发,直接由光强分布导出了散斑平均反差与表面粗糙度特征参数的关系公式,采用指数形式和高斯形式的自相关函数,得到极为相符的计算结果。利用激光衍射散斑平均反差测量表面粗糙度,具有精度高和分辨高等优点,可以用于测试精密表面的粗糙度。
激光散斑反差与表面粗糙度关系的理论分析
【摘 要】
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本文从Fresne1-Kirchhoff衍射公式出发,直接由光强分布导出了散斑平均反差与表面粗糙度特征参数的关系公式,采用指数形式和高斯形式的自相关函数,得到极为相符的计算结果。利用激光衍射散斑平均反差测量表面粗糙度,具有精度高和分辨高等优点,可以用于测试精密表面的粗糙度。
【机 构】
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上海交通大学精密仪器系上海光学仪器研究所
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1985年5期
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