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用离子束辅助沉积合成了TiN薄膜,背散射、X射线衍射和透射电镜实验的结果表明,在本实验条件下,薄膜Ti/N比接近于TiN的化学计量比,和氮离子束流密度无关。薄膜存在<100>择优取向,在一定条件下,可以形成只有(100)取向的TiN薄膜。
离子束辅助沉积TiN薄膜的结构和成分
【摘 要】
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用离子束辅助沉积合成了TiN薄膜,背散射、X射线衍射和透射电镜实验的结果表明,在本实验条件下,薄膜Ti/N比接近于TiN的化学计量比,和氮离子束流密度无关。薄膜存在<100>择优取
【机 构】
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清化大学材料科学与工程系,清化大学材料科学与工程系北京100084,北京100084,北京100084
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1993年6期
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