激光烧蚀La2O3产生的等离子体的发光光谱研究

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用发光光谱法研究了355nm脉冲激光在真空和O_2气氛中烧蚀La_2O_3产生的等离子体的组成和形成过程.对等离子体中La~+离子和LaO的空间和时间分辨发光光谱分析表明,在O_2气氛中LaO有两个生成通道:一是在靶附近的等离子体内直接生成的,另一是由La,La~+与O_2发生氧化反应而生成的.测定了激光能量密度,离靶表面的距离和O_2压力对产物发光的延迟时间和发光强度的影响.此外,还讨论了激光烧蚀La_2O_3诱导产生等离子体的形成和演化机理. The composition and formation process of La 2 O 3 plasma ablated by 355 nm pulsed laser in vacuum and O 2 atmosphere were studied by luminescence spectroscopy.The spatial and time resolved luminescence spectra of La ~ + ions and LaO in plasma showed that under the condition of O 2 LaO has two channels in the atmosphere: one is generated directly in the plasma near the target and the other is formed by the oxidation reaction of La, La ~ + and O 2. The laser energy density, the distance from the target surface And O 2 pressure on the product of the light-emitting delay time and luminous intensity.In addition, laser ablation La 2 O 3 -induced plasma generation and evolution mechanism was also discussed.
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